에코에너젠

충남경제진흥원이 추진하는 ‘글로벌강소기업 1000+ 프로젝트’가 지역 중소기업의 세계시장 진출 교두보로 자리 잡고 있다. 진흥원은 혁신성과 성장 잠재력을 갖춘 기업을 선발해 해외 마케팅, 기술 고도화, 정책금융 연계, CEO 파트너십 등 전방위 지원을 펼치며 수출 선도기업으로 육성하고 있다. 2011년 이후 123개 기업이 글로벌 무대에서 경쟁력을 인정받았다. 세계 시장을 향해 도약 중인 충남 글로벌 강소기업 11곳을 조명한다.

20대 이상 식각 장비 배출가스 동시 처리
상온 촉매 반응으로 유해물질 99% 처리
美·대만 글로벌 반도체 공장 기술 도입 추진
용인·증평 440억원 투자해 생산능력 확대

충남 천안에 본사를 둔 친환경 설비 제조기업인 에코에너젠(대표 윤종필)이 반도체 공정에서 배출되는 온실가스를 획기적으로 줄이는 친환경 설비 기술로 주목받고 있다. 이 회사는 온실가스인 이산화탄소(CO₂), 프레온가스(PFCs), 아산화질소(N₂O) 등 반도체 생산 과정에서 발생하는 유해 물질을 제거하는 장치와 질소산화물(NOx) 저감 설비를 제조한다.

핵심 기술은 ‘베이 캐털리스트 시스템(Bay Catalyst System)’으로 반도체 식각(Etching) 공정에서 발생하는 프레온가스를 촉매 반응으로 99%까지 분해한다. 프레온은 가수분해 과정을 통해 이산화탄소와 불화수소(HF)로 전환되며, 불화수소는 별도의 안전장치에서 처리된다. 하나의 장치로 20대 이상의 식각 장비 배출가스를 동시에 처리할 수 있어 효율성이 높다는 게 회사 측 설명이다. 

이 회사는 기존 디녹스(De-NOx) 시스템이 400℃ 이상의 고온에서 작동해야 했던 것과 달리 상온(25℃) 환경에서도 99% 처리 효율을 구현했다. 이 기술은 반도체 공정처럼 열에 민감한 환경에서도 안정적으로 작동해 세계 유일의 상온 산화환원 기술로 평가받는다. 회사 관계자는 “프레온 1t을 줄이면 이산화탄소 2만3900t 감축 효과가 있다”며 “온실가스 저감에 기여하면서도 유지비와 에너지 소모를 줄였다”고 설명했다.

이 회사는 디녹스 시스템, 베이 캐털리스트 시스템, 습식 전기집진기, 반도체 세정 공정 알코올 증기 처리장치(IPA) 등 고성능 설비를 설계부터 제작·설치까지 모든 솔루션을 제공한다. 현재 미국 아이다호주와 뉴욕주 반도체 공장, 대만 TSMC(티에스엠씨) 에서 기술 도입을 검토하는 등 글로벌 환경 규제가 강화되는 시점에 기술 경쟁력을 앞세워 해외 시장 공략에 나서고 있다.

이 회사는 지난해 12월 100억원을 투입해 천안 본사에 신규 공장을 준공한 데 이어 2027년까지 용인 반도체클러스터 산업단지에 220억원을 들여 고객 발주 대응을 위한 신공장 건립을 추진한다. 또 충북 진천군 초평은암산업단지 1만8180㎡ 부지에 120억원을 들여 촉매 소재 및 미세먼지 제거용 화학약품 생산시설도 증축할 계획이다.

윤종필 대표는 “세계적 수준의 친환경 설비 기술로 반도체 산업의 지속가능성을 높이고, 글로벌 시장에서 대한민국 기술의 위상을 입증하겠다”고 말했다.

출처 : 에코에너젠, 반도체 식각 공정 프레온가스 분해...온실가스 저감 기술 선도 | 한국경제